1．真空的定義
　　真空系統指低于該地區大氣壓的稀簿氣體狀態。
2、真空度
　　處于真空狀態下的氣體稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。
3、真空度單位
　　通常用托（Torr）為單位，近年國際上取用帕（Pa）作為單位。
　　1托＝1/760大氣壓＝1毫米汞柱
4、托與帕的轉換
　　1托＝133.32帕　或　1帕＝7.5×10-3托
5、流量
　　單位時間流過任意截面的氣體量，符號用“Q”表示，單位為帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。
6、流導
表示真空管道通過氣體的能力。單位為升/秒（L/s），在穩定狀態下，管道流導等于管道流量除以管道兩端壓強差，符號記作“U”。U＝Q/(P2- P1)
7、壓力或壓強
　　氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力，用“P”表示。
8、標準大氣壓
　　壓強為每平方厘米101325達因的氣壓，符號：（Atm）。
9、極限真空
　　真空容器經充分抽氣后，穩定在某一真空度，此真空度稱為極限真空。通常真空容器須經12小時煉氣，再經12小時抽真空，最后一個小時每隔10分鐘測量一次，取其10次的平均值為極限真空值。
10、抽氣速率
在一定的壓強和溫度下，單位時間內由泵進氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率，簡稱抽速。即Sp＝Q/（P－P0）